日立S-3000電子掃描顯微鏡，其加速電壓0.3kV-30kV，放大倍數15X-300,000X，二次電子分辨率3nm，背散射電子分辨率4.5nm，工作距離5-35mm，有高、低真空兩種工作方式。可用于塊狀或粉體樣品的二次電子像和背散射電子像觀察，斷口的二次電子像觀察。